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傳感器係列

  • 濺射薄膜壓力傳感器
濺射薄膜壓力傳感器

濺射薄膜壓力傳感器

  • Product description: 濺射薄膜壓力傳感器采用應變式測量原理,選用優質沉澱硬化不鏽鋼作為彈性元件,使用離子束濺射沉積工藝在彈性元件表麵製作多層複合膜,采用光刻、離子束刻蝕等工藝製作成薄膜式壓力敏感芯體。
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濺射薄膜壓力傳感器采用應變式測量原理,選用優質沉澱硬化不鏽鋼作為彈性元件,使用離子束濺射沉積工藝在彈性元件表麵製作多層複合膜,采用光刻、離子束刻蝕等工藝製作成薄膜式壓力敏感芯體。該敏感元件具有高準確度、高穩定性、溫度性能優良、應用溫度範圍寬等特點。傳感器整體采用不鏽鋼密封結構,具有很好的電磁屏蔽效果;內部元器件、引線均經特殊加固處理,具備較強的耐惡劣環境能力。

主要性能指標:

1. 量程:0~100MPa(表壓);

2. 使用溫度範圍:-200℃~+200℃(非水冷)、1℃~+700℃(水冷)

3.   精度: ±0.1%FS、±0.2%FS,±0,5%FS

4    測量介質:任何能與17-4PH不鏽鋼兼容的氣體和液體

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